平面度，是屬于形位公差中的一種，指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統的檢測方法中，平面度的測量方法通常(chang)有(you)：塞規/塞尺測(ce)(ce)量(liang)法(fa)(fa)、液平(ping)面(mian)法(fa)(fa)、激光(guang)平(ping)面(mian)干(gan)涉(she)儀(yi)測(ce)(ce)量(liang)法(fa)(fa)（平(ping)晶干(gan)涉(she)法(fa)(fa)）、水(shui)平(ping)儀(yi)/數字(zi)水(shui)平(ping)儀(yi)測(ce)(ce)量(liang)法(fa)(fa)、以及打表測(ce)(ce)量(liang)法(fa)(fa)。

　　塞尺(chi)(chi)測量法(fa)，只需一(yi)套可隨(sui)身攜(xie)帶的塞尺(chi)(chi)就可隨(sui)時隨(sui)地進行平(ping)面(mian)度的粗(cu)測。目(mu)前很(hen)多(duo)工(gong)廠仍使用該(gai)方法(fa)進行檢測。由于其精度不(bu)高，常規zui薄塞尺(chi)(chi)為(wei)10um，檢測效(xiao)率較低，結果不(bu)夠全面(mian)，只能檢測零件邊緣。

　　液平面(mian)(mian)法，基于連(lian)(lian)通器(qi)工作原理，適合測量連(lian)(lian)續(xu)或不連(lian)(lian)續(xu)的(de)大平面(mian)(mian)的(de)平面(mian)(mian)度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的(de)平面(mian)(mian)。

　　激(ji)光平面干涉儀(yi)測(ce)量(liang)(liang)(liang)法(fa)，zui典(dian)型的(de)用法(fa)是(shi)平晶(jing)干涉法(fa)。但(dan)主(zhu)要于測(ce)量(liang)(liang)(liang)光潔的(de)小平面的(de)測(ce)量(liang)(liang)(liang)，如(ru)千分頭測(ce)量(liang)(liang)(liang)面，量(liang)(liang)(liang)規的(de)工作(zuo)面，光學透鏡。

    丹青(qing)公司聯合德國LAMTECH的推出(chu)非接觸激光平(ping)面度測量儀(yi)，LAMTECH平(ping)面(mian)度快速測量儀，采(cai)用掠入射光(guang)干(gan)涉原理，專注(zhu)于(yu)高精密(mi)(mi)加工(gong)表面(mian)平(ping)面(mian)度快速測量評估(gu), 廣泛(fan)應用于(yu)航(hang)空航(hang)天，汽(qi)車(che)工(gong)業噴(pen)油嘴行業，泵、閥門密(mi)(mi)封件表面(mian)，以及光(guang)學(xue)工(gong)程(cheng)(cheng)，激光(guang)工(gong)程(cheng)(cheng)等領域(yu)

      德國LAMTECH平面度測量儀快速測量平面度的測量方法，高效快(kuai)速(su)，即可以用于車間(jian)現場全檢測，也可以用于實(shi)驗室平面度(du)測量研究(jiu)。

　　水平儀測(ce)(ce)量法，廣(guang)泛用于工件(jian)表面的(de)直線度和平面度測(ce)(ce)量。測(ce)(ce)量精度高、穩定性好、體積(ji)小、攜帶方(fang)便。但(dan)是用該方(fang)法測(ce)(ce)量時需要(yao)反復(fu)挪(nuo)動儀器(qi)位置，記錄各測(ce)(ce)點的(de)數(shu)據，費時、費力，調整時間長，數(shu)據處理程序繁瑣(suo)。

　　打表測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)法(fa)，典型應用(yong)為(wei)平板(ban)測(ce)(ce)(ce)微儀及三(san)坐標儀，其(qi)(qi)中(zhong)優以三(san)坐標儀為(wei)應用(yong)zui廣泛。測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)時指示(shi)器在待測(ce)(ce)(ce)樣品(pin)上(shang)移動，按選定的布點(dian)測(ce)(ce)(ce)取各(ge)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)點(dian)相對于測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)基準的數據(ju)(ju)，再經(jing)過(guo)數據(ju)(ju)處理評定出平面度(du)誤(wu)差。但其(qi)(qi)效率較低，通常一(yi)個樣品(pin)需要(yao)幾(ji)分鐘，離15ppm的期望相差甚遠。