3D光學非接觸輪廓粗糙度儀
簡要描述:
瑞士(shi)TRIMOS TR-scan3D光學非(fei)接觸輪廓粗糙度(du)(du)儀具(ju)有完善的分析功(gong)能模(mo)塊(kuai),對其表面(mian)形(xing)貌進行輪廓、面(mian)積(ji)(ji)、體(ti)積(ji)(ji)、粗糙度(du)(du)、截面(mian)等(deng)測(ce)量。
產品時間:2020-06-30
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀產品介紹:
Trimos TRscan非接觸式刀(dao)(dao)具(ju)微觀(guan)形(xing)貌測量儀,全自動共(gong)焦三維測量。于刀(dao)(dao)具(ju)制(zhi)造工(gong)(gong)業,根據(ju)多點(dian)譜線(xian)共(gong)焦,一次入射(she)200束(shu)光(guang)到工(gong)(gong)件(jian)表(biao)面(mian)(mian),在每(mei)束(shu)光(guang)路上(shang)自動聚焦,快速獲得刀(dao)(dao)具(ju)表(biao)面(mian)(mian)三維形(xing)貌,采用此次多點(dian)譜線(xian)共(gong)焦傳感器(qi)和圖像處(chu)理系(xi)統,可(ke)以(yi)對各種復雜(za)的刀(dao)(dao)刃及其(qi)模具(ju)進行(xing)準確的測量,具(ju)有完善的分(fen)析功(gong)能(neng)模塊,對其(qi)表(biao)面(mian)(mian)形(xing)貌進行(xing)輪(lun)廓、面(mian)(mian)積(ji)(ji)、體積(ji)(ji)、粗糙度(du)、截面(mian)(mian)等(deng)測量。
TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀特點:
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強大的多點共焦技術,zui準確的測量出表面形貌數據(角度、半(ban)徑、輪廓、粗糙度)
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通過光(guang)學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數
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測量(liang)速(su)度快,可整合成一個高效(xiao)的在線測量(liang)系統
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適(shi)用(yong)于陡(dou)峭的(de)斜(xie)面(mian),爬坡角(jiao)度高達85度
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垂直分(fen)辨率高(gao)達30nm
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TRSCAN是*可同時獲得表面(mian)形貌和真實顏色信(xin)息的3D測量設(she)備,測量更(geng)加精確靈(ling)活
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通過腳本自動測量(liang),更適用于批(pi)量(liang)測量(liang),并生成圖形或(huo)數字(zi)報告
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粗糙度和輪廓測量符(fu)合*EN/ISO4287標準
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可用于選定(ding)區域的面積(ji)及(ji)體積(ji)計算
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可選配(pei)轉(zhuan)臺(tai),實現三維掃面(mian)
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可用于復(fu)雜幾何外形(xing)的形(xing)狀分析,可測量角度、半徑等(deng)表面特征
技術參數:
工作臺移(yi)動范圍(wei)X | 100mm | ||
工作(zuo)臺移動(dong)范圍(wei)Y | 固定式 | ||
工作臺(tai)移動范圍Z | 240mm | ||
XYZ軸(zhou)zui小(xiao)位移(yi)量 | 0.1μm | ||
XYZ軸定(ding)位精度 | 1μm | ||
XY軸導軌直線度(du) | 1.5μm | ||
工件zui大重(zhong)量 | 20kg | ||
測(ce)量原(yuan)理 | 非(fei)接(jie)觸式多點譜線共焦傳(chuan)感(gan)器(qi) | ||
光源 | 白色(se)LED共軸(zhou)光(guang),高強光(guang),數(shu)字可控 | ||
色譜(pu)共焦傳感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線(xian)寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡(po)坡(po)度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量(liang)范圍(wei) | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精(jing)度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度zui小(xiao)分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
測量zui大(da)厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |