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3D光學非接觸輪廓粗糙度儀

3D光學非接觸輪廓粗糙度儀

簡要描述:

瑞士(shi)TRIMOS TR-scan3D光學非(fei)接觸輪廓粗糙度(du)(du)儀具(ju)有完善的分析功(gong)能模(mo)塊(kuai),對其表面(mian)形(xing)貌進行輪廓、面(mian)積(ji)(ji)、體(ti)積(ji)(ji)、粗糙度(du)(du)、截面(mian)等(deng)測(ce)量。

產品時間:2020-06-30

TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀產品介紹:

Trimos TRscan非接觸式刀(dao)(dao)具(ju)微觀(guan)形(xing)貌測量儀,全自動共(gong)焦三維測量。于刀(dao)(dao)具(ju)制(zhi)造工(gong)(gong)業,根據(ju)多點(dian)譜線(xian)共(gong)焦,一次入射(she)200束(shu)光(guang)到工(gong)(gong)件(jian)表(biao)面(mian)(mian),在每(mei)束(shu)光(guang)路上(shang)自動聚焦,快速獲得刀(dao)(dao)具(ju)表(biao)面(mian)(mian)三維形(xing)貌,采用此次多點(dian)譜線(xian)共(gong)焦傳感器(qi)和圖像處(chu)理系(xi)統,可(ke)以(yi)對各種復雜(za)的刀(dao)(dao)刃及其(qi)模具(ju)進行(xing)準確的測量,具(ju)有完善的分(fen)析功(gong)能(neng)模塊,對其(qi)表(biao)面(mian)(mian)形(xing)貌進行(xing)輪(lun)廓、面(mian)(mian)積(ji)(ji)、體積(ji)(ji)、粗糙度(du)、截面(mian)(mian)等(deng)測量。

TR-scan 3D光學非接觸輪廓粗糙度儀特點:

  • 強大的多點共焦技術,zui準確的測量出表面形貌數據(角度、半(ban)徑、輪廓、粗糙度)

  • 通過光(guang)學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數

  • 測量(liang)速(su)度快,可整合成一個高效(xiao)的在線測量(liang)系統

  • 適(shi)用(yong)于陡(dou)峭的(de)斜(xie)面(mian),爬坡角(jiao)度高達85度

  • 垂直分(fen)辨率高(gao)達30nm

  • TRSCAN是*可同時獲得表面(mian)形貌和真實顏色信(xin)息的3D測量設(she)備,測量更(geng)加精確靈(ling)活

  • 通過腳本自動測量(liang),更適用于批(pi)量(liang)測量(liang),并生成圖形或(huo)數字(zi)報告

  • 粗糙度和輪廓測量符(fu)合*EN/ISO4287標準

  • 可用于選定(ding)區域的面積(ji)及(ji)體積(ji)計算

  • 可選配(pei)轉(zhuan)臺(tai),實現三維掃面(mian)

  • 可用于復(fu)雜幾何外形(xing)的形(xing)狀分析,可測量角度、半徑等(deng)表面特征

技術參數:

 工作臺移(yi)動范圍(wei)X  100mm
 工作(zuo)臺移動(dong)范圍(wei)Y  固定式
 工作臺(tai)移動范圍Z  240mm
 XYZ軸(zhou)zui小(xiao)位移(yi)量 0.1μm 
 XYZ軸定(ding)位精度  1μm
 XY軸導軌直線度(du)  1.5μm
 工件zui大重(zhong)量 20kg 
 測(ce)量原(yuan)理 非(fei)接(jie)觸式多點譜線共焦傳(chuan)感(gan)器(qi) 
 光源  白色(se)LED共軸(zhou)光(guang),高強光(guang),數(shu)字可控
 色譜(pu)共焦傳感器  CLS0.2  CLS1  CLS4
 線(xian)寬  0.96mm  1.92mm  4.8mm
 工作距離  5.3mm 18.2mm  39mm 
 光斑間隙 5μm 10μm  25μm 
 光斑大小  2μm 4μm  10μm 
 爬坡(po)坡(po)度  ±44deg   ±33deg   ±20deg
 測量(liang)范圍(wei)  200μm 950μm  4mm 
 軸向分辨率 30nm  120nm  500nm 
 精(jing)度  90nm 360nm  1.5μm 
 厚度zui小(xiao)分辨率 15μm  70μm  300μm 
 測量zui大(da)厚度 300μm  1.5mm  6mm 

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