Lamtech激光平面度測量儀
簡要描述:
德國(guo)Lamtech激(ji)光(guang)平面度測量(liang)儀,采用掠入(ru)射光(guang)干涉原理,專注于(yu)(yu)高精密加工表面平面度快速測量(liang)評估(gu), 廣泛應用于(yu)(yu)航空航天,汽車工業噴油嘴行(xing)業,泵、閥門密封件表面,以及光(guang)學(xue)工程,激(ji)光(guang)工程等(deng)領(ling)域。
產品時(shi)間:2020-07-24
Lamtech激光平面度測量儀
LAMTECH平面(mian)度快速測(ce)量(liang)機,采用(yong)掠入射光干涉原理,專(zhuan)注于高精密(mi)加工(gong)表(biao)面(mian)平面(mian)度快速測(ce)量(liang)評估, 廣(guang)泛應用(yong)于航空航天,汽車工(gong)業噴油嘴行(xing)業,泵、閥門密(mi)封件表(biao)面(mian),以及(ji)光學工(gong)程,激(ji)光工(gong)程等領(ling)域。
TOPOS 100 是一款非接觸式(shi)平坦度測(ce)(ce)量(liang)儀器(qi),用(yong)于精密(mi)制造表面,具(ju)有亞微米精度。 TOPOS 平坦度測(ce)(ce)量(liang)儀器(qi)滿足 客觀工(gong)作測(ce)(ce)量(liang)工(gong)具(ju)的要求,用(yong)于精密(mi)部件(例如燃油(you)噴射 系統(tong)、泵或閥門)的生產和質量(liang)控制。
Lamtech激光平面度測量儀允許(xu)對研(yan)磨、 精加(jia)工(gong)和(he)拋光精密部(bu)(bu)件(jian)(jian)(jian)進行非接觸式平坦度測(ce)量。 TOPOS 干涉儀根據光的放(fang)牧率原(yuan)理運(yun)行。 也(ye)可(ke)以(yi)測(ce)量較粗糙的部(bu)(bu)件(jian)(jian)(jian)的平坦度,光學平面或菲佐干涉儀沒(mei)有(you)更多(duo)(duo)的條(tiao)紋圖案。 計(ji)算(suan)機根據干擾(rao)模式計(ji)算(suan)測(ce)試對象的平坦度。 在研(yan)磨或研(yan)磨部(bu)(bu)件(jian)(jian)(jian)旁邊也(ye)可(ke)以(yi)測(ce)量拋光部(bu)(bu)件(jian)(jian)(jian)。 部(bu)(bu)件(jian)(jian)(jian)可(ke)以(yi)由多(duo)(duo)種材(cai)料(liao)組成: -金屬(鋼,鋁(lv),青銅,銅等) -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑(su)料(liao)材(cai)料(liao) -等 干涉儀可(ke)放(fang)置在生產線(xian)上,靠(kao)近加(jia)工(gong)機。 在整(zheng)個測(ce)量區域(yu)內,精度高達 0.1µm。
平面度檢測儀技術參數:
型 號 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
測量(liang)范圍(直徑) | 50mm | 100mm | |
參考(kao)平(ping)面平(ping)面度(du) | 優于0.06μm | ||
參考面材料(liao) | 石英玻璃 | ||
靈(ling)敏度 | 0.5,1,2或4μm每紋 | ||
精(jing)度 | (0.1??0.4)um + 2%x測量(liang)值, 基于靈敏度 | ||
Z軸波動(dong)范(fan)圍 | 低于(yu)100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重(zhong)復性 | 優于0.01μm1) | ||
分辨率 | 優于0.01μm | ||
數(shu)據采(cai)集量 | 300,000點 | ||
測(ce)量時間 | 小于2s | ||
整體(ti)尺(chi)寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg |
應用示例: