TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
簡要描述：
瑞(rui)士 TRIMOS TR-scan非接觸式微(wei)觀形(xing)貌測量(liang)儀 ，全自(zi)動共(gong)焦三維測量(liang)。具有完善的(de)分析功能模塊(kuai)，對其表面(mian)形(xing)貌進行輪(lun)廓、面(mian)積、體積、粗糙度、截面(mian)等測量(liang)。
產品時間：2020-03-12
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀，全自動共焦三維測量。于刀具制造工業，根據多點譜線共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自動聚焦，快速獲得刀具表面三維形貌，采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統，可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量，具有完善的分析功能模塊，對其表面形貌進行輪廓、面積(ji)、體積、粗糙度(du)、截面等測量。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主要特點：
強大的多點(dian)共焦技術，zui準(zhun)確的測量出表面形貌數據（角(jiao)度(du)、半徑、輪廓、粗糙(cao)度(du)）
通過光學(xue)方式測量Ra、Rq、Rz等(deng)粗糙(cao)度參數
測量(liang)(liang)速(su)度快，可整(zheng)合成一個高效的在線測量(liang)(liang)系統
適用于陡峭(qiao)的斜面，爬坡(po)角度高(gao)達(da)85度
垂直分辨率高達(da)30nm
TRSCAN是*可同時(shi)獲得表面形貌(mao)和(he)真實顏色信息的3D測量設備，測量更(geng)加精確靈(ling)活
通(tong)過腳本(ben)自動測量，更(geng)適用于(yu)批量測量，并生成(cheng)圖(tu)形或數字報告
粗(cu)糙度和輪(lun)廓測(ce)量(liang)符合*EN/ISO4287標準
可(ke)用于(yu)選定區(qu)域的面積(ji)及體積(ji)計算
可選配轉臺，實現三維(wei)掃面
可(ke)用于復雜幾何外形的形狀分析，可(ke)測量角度、半徑等表面(mian)特征
技(ji)術參(can)數(shu)：
| 工作臺移(yi)動范圍X | 100mm | ||
| 工(gong)作臺移動范(fan)圍(wei)Y | 固定式 | ||
| 工作臺(tai)移動范圍Z | 240mm | ||
| XYZ軸zui小位移量(liang) | 0.1μm | ||
| XYZ軸定位(wei)精度 | 1μm | ||
| XY軸導軌(gui)直(zhi)線度 | 1.5μm | ||
| 工件zui大重量 | 20kg | ||
| 測量原理 | 非接觸式多點譜線共焦傳感器(qi) | ||
| 光源 | 白(bai)色(se)LED共軸光(guang)(guang)，高強光(guang)(guang)，數字可控(kong) | ||
| 色譜共焦傳感(gan)器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 線寬(kuan) | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作距離 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小(xiao) | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
| 軸向分辨(bian)率 | 30nm | 120nm | 500nm |
| 精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
| 厚度(du)zui小分辨(bian)率 | 15μm | 70μm | 300μm |
| 測量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |