Dantsin-TRsacn非接觸式微觀形貌測量
簡要描述:
Dantsin-TRsacn非接觸式(shi)微觀形貌測量 瑞(rui)士(shi)丹青公司是長(chang)度(du)類計量檢測技(ji)術供應商(shang),我們致(zhi)力于提高工業產品(pin)的質(zhi)量品(pin)質(zhi)!
產品(pin)時間:2020-03-12
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀
Trimos TRscan非接觸式刀具微觀形貌測量儀,全自動共焦三維測量。于刀具制造工業,根據多點譜線共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自動聚焦,快速獲得刀具表面三維形貌,采用此次多點譜線共焦傳感器和圖像處理系統,可以對各種復雜的刀刃及其模具進行準確的測量,具有完善的分析功能模塊,對其表面形貌進行輪廓、面積、體(ti)積(ji)、粗(cu)糙度、截面等測量。
TR-scan非接觸式微觀形貌測量儀主(zhu)要特點:
強大的(de)多點(dian)共(gong)焦技術,zui準確的(de)測量出表面形貌(mao)數據(ju)(角度、半徑(jing)、輪廓、粗糙(cao)度)
通過光學方式測量Ra、Rq、Rz等粗糙(cao)度參數
測量速度(du)快,可整合(he)成一個高效的在線(xian)測量系統
適用于陡峭的(de)斜面,爬坡(po)角度高(gao)達(da)85度
垂(chui)直(zhi)分辨率高(gao)達30nm
TRSCAN是(shi)*可(ke)同時獲得表(biao)面形貌和真(zhen)實顏(yan)色信息的(de)3D測量設備,測量更加精確(que)靈活
通(tong)過腳本自(zi)動測(ce)量(liang),更適用于批(pi)量(liang)測(ce)量(liang),并生成(cheng)圖形(xing)或數(shu)字報告
粗糙(cao)度和輪(lun)廓測量符(fu)合*EN/ISO4287標準
可用于選(xuan)定區(qu)域的面(mian)積及體積計算
可選(xuan)配轉臺,實現三維掃面
可用于(yu)復雜幾何外形的形狀分(fen)析,可測量角度、半(ban)徑等(deng)表面特(te)征
技(ji)術參數:
工(gong)作臺移動范圍X | 100mm | ||
工作臺移動(dong)范圍Y | 固定式 | ||
工作(zuo)臺移動范圍Z | 240mm | ||
XYZ軸zui小(xiao)位移量(liang) | 0.1μm | ||
XYZ軸定位精度 | 1μm | ||
XY軸導軌(gui)直線(xian)度 | 1.5μm | ||
工件zui大重量 | 20kg | ||
測(ce)量原理(li) | 非接觸式多(duo)點譜線共焦傳感器(qi) | ||
光源 | 白色LED共(gong)軸光,高強光,數字可控 | ||
色譜共焦傳(chuan)感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
線寬 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
工作距離(li) | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
光(guang)斑(ban)間隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
光斑大(da)小 | 2μm | 4μm | 10μm |
爬坡(po)坡(po)度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
測量范圍 | 200μm | 950μm | 4mm |
軸向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
精度 | 90nm | 360nm | 1.5μm |
厚度zui小分(fen)辨率(lv) | 15μm | 70μm | 300μm |
測量zui大厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |